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7 化学镀镍/金常见问题分析" G' \1 ~) m% O' j6 K3 |
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9 [$ M& a. ^1 @, N3 L% F 由于化学镍/金制程敏感,化学镍/金板的用途多种多样,且对表观要求极严,因此化学镀镍/金生产中所遇到的问题很多。其中常见的一些问题及解决方法参见下表2。 ' \3 u, I2 R& H! L$ `% ~
表2 化学镀镍/金常见问题及解决 问题 | | | | 1)金层太厚或太薄; 2)沉金后受多次热冲击; 3)最终水洗不干净; 4)镍槽生产超过6MTO。 | 1)调整参数,使厚度在:0.05~0.15μm; 2)出板前用酸及DI水清洗; 3)更换水洗槽; 4)保持4~5MTO生产量。 | | | 1)检查微蚀量及更换除油槽; 2)用光板拖缸20~30min | | 1)金层腐蚀; 2)金槽、镍槽之间水洗PH>8 3)镍面钝化 | 1)升高金槽PH值; 2)检查水的质量; 3)控制镀镍后沉金前打气及停留时间 | | | | | 1)蚀刻后残铜; 2)活化后镍槽前水洗不足; 3)活化剂温度过高; 4)钯浓度太高; 5)活化时间过长; 6)镍槽活性太强 | 1)反馈前工序解决; 2)延时水洗或加大空气搅拌; 3)降低温度至控制范围; 4)降低浓度至控制范围; 5)降低活化时间; 6)适当使用稳定剂 | | 1)PH 太低; 2)温度太低; 3)拖缸不足; 4)镍槽生产超6MTO | 1)调高PH值; 2)调高温度; 3)用光板拖缸20~30min; 4)更换镍槽 | | 1)镍层磷含量高; 2)金槽温度太低; 3)金槽PH值太高; 4)开新槽时起始剂不足 | 1)提高镍槽活性; 2)提高温度; 3)降低PH值; 4)适当加入起始剂 |
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