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《半导体制造技术》:最全最详尽的半导体制造技术书籍,涵盖晶圆工艺到后端封测

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发表于 2022-9-22 08:42 | 只看该作者 回帖奖励 |倒序浏览 |阅读模式

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本帖最后由 dreams5678 于 2022-9-22 08:44 编辑 6 O( m3 E# K! F0 z/ u; }  `5 ?
6 B! J" i3 }9 j
《半导体制造技术》是最详尽最完整介绍半导体前端工艺和后端制程的书籍,作者是美国人Michael Quirk。看完本书,相信你对整个芯片制造流程会非常清晰地了解。从硅片制造,到晶圆厂芯片工艺的四大基本类——薄膜制作(Layer)、图形光刻(Pattern)、刻蚀和掺杂,再到测试封装,一目了然。 全书共分20章,根据应用于半导体制造的主要技术分类来安排章节,包括与半导体制造相关的基础技术信息;总体流程图的工艺模型概况,用流程图将硅片制造的主要领域连接起来;具体讲解每一个主要工艺;集成电路装配和封装的后部工艺概况。此外,各章为读者提供了关于质量测量和故障排除的问题,这些都是会在硅片制造中遇到的实际问题。; t' B0 `% [# ~# X
$ T# b. W# x3 l$ n7 c: U
第1章 半导体产业介绍 5 u+ T' j5 `1 F1 F; O
0 _  Z3 \7 E( _$ Z" q
第2章 半导体材料特性 / U# g& c0 ^: v1 ]6 |

6 h' w* l4 D7 s) l- w第3章 器件技术 $ T5 K- U  O# `: r

, ?  q$ F6 Q0 f6 Y3 e4 M- {4 Z第4章 硅和硅片制备
- {" i8 i0 V0 A. B6 [) e% I* |+ _- W! o* \7 x( ?
第5章 半导体制造中的化学品- L, |# A5 l; h8 ^; J: f: X, W3 V3 n: x

  R  `' B$ H9 ~ 第6章 硅片制造中的沾污控制 - i! L5 Z) M# H# T: E7 z( ~

' P$ n2 e0 b. v2 b/ O第7章 测量学和缺陷检查
, ~* M' t' m5 p5 D3 y& U' [& g
, H8 [( m* P- C: c% q第8章 工艺腔内的气体控制
# w0 S0 ~1 O5 v+ b5 ]2 m5 D6 l8 U: w4 N8 z" h6 }' e
第9章 集成电路制造工艺概况 ( \; v) c9 m& F* a, Y$ t, l3 n4 a

, Z" d1 R3 s# L2 ?: E2 |% m第10章 氧化
- e, s6 y* u& p3 ?9 g5 O% v# B$ v& d4 }- T7 H' S% k
第11章 淀积
% P# i& _) L. P# i9 _6 x9 C0 q* u& X
第12章 金属化 8 f0 J* N/ ^# }9 }+ q0 ]) v$ m

% E* E% W1 X; w第13章 光刻:气相成底膜到软烘
0 g+ B' U4 ]' p' m$ S2 R* }1 q! m. T2 t% H) @% Q, m4 T& ]0 B: u
第14章 光刻:对准和曝光 # B* ^2 N& U& m4 s! s: c& M
, {$ Q9 U2 Q. [; v2 n
第15章 光刻:光刻胶显影和先进的光刻技术0 w/ v- s( d4 p

7 A/ Q/ c+ t" h8 G' o: d8 M 第16章 刻蚀 / ?! ^/ r3 A* _# q8 R
/ T& [  R, O0 G) `. d4 K% u( f
第17章 离子注入
! M) o  y  M, l/ x* t, l4 L) \: V2 h# _+ C! l( ?4 R  ~( I
第18章 化学机械平坦化
4 p& d8 x# `- {9 B3 f( B1 p# L: G. Y- r, T
第19章 硅片测试
+ R$ `8 }; [( `; p+ i. F* w2 O* i) Q$ H, ~
第20章 装配与封装
* v: D+ }( S) n8 b* I* [- t
  N$ v$ h% C* @4 k$ e- s本书详细追述了半导体发展的历史并吸收了当今最新技术资料,学术界和工业界对《半导体制造技术》的评价都很高。

9 ?% b7 I, e/ U0 I- J+ ?- H
, w% t2 a: o: m: K
注:附件下载后,改后缀:001.zip → zip.001,解压,压缩工具7z
# S, k0 S0 Y3 i4 v

# G7 Z8 @/ U7 f" a. [9 {% U! n
游客,如果您要查看本帖隐藏内容请回复
) b8 S2 S5 Q3 ^" k8 o

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3#
发表于 2022-9-22 09:53 | 只看该作者
  • TA的每日心情
    开心
    2025-7-10 15:30
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    [LV.10]以坛为家III

    4#
    发表于 2022-9-22 11:09 | 只看该作者
    不错,很是美味地道和专业,尝鲜一下
  • TA的每日心情
    开心
    2022-12-27 15:46
  • 签到天数: 4 天

    [LV.2]偶尔看看I

    5#
    发表于 2022-9-22 13:03 | 只看该作者
    半导体制造技术
  • TA的每日心情
    开心
    2022-9-29 15:42
  • 签到天数: 5 天

    [LV.2]偶尔看看I

    6#
    发表于 2022-9-22 16:58 | 只看该作者
    学习一下,虽然半导体技术不懂!

    该用户从未签到

    7#
    发表于 2022-9-26 16:24 | 只看该作者
    技术是最新的吗

    该用户从未签到

    9#
    发表于 2022-11-28 10:58 | 只看该作者
    温热微软反对法反对反对水水水水的6 ^! N1 @+ z  b/ T" d% n/ m7 N
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