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前的准备:
6 R5 a, w. ?. s* O4 t( K2 S1 查看捕捉点设置是否正确.08工艺为0.1,06工艺为0.05,05工艺为0.025.
& A/ g& t& i. ]2 Cell名称不能以数字开头.否则无法做DRACULA检查. j$ J: @3 l3 L
3 布局前考虑好出PIN的方向和位置
A4 g7 }: `/ k& V |1 {" V4 布局前分析电路,完成同一功能的MOS管画在一起/ Z4 G$ u [! i7 m& @ U4 E
5 对两层金属走向预先订好。一个图中栅的走向尽量一致,不要有横有竖。$ s' l6 n0 \+ B; ]3 O
6 对pin分类,vdd,vddx注意不要混淆,不同电位(衬底接不同电压)的n井分开.混合信号的电路尤其注意这点.% R9 z3 r- [3 j; B" L4 {* [
7 在正确的路径下(一般是进到~/opus)打开icfb.
% J1 n4 k* X1 z! {3 \8 更改cell时查看路径,一定要在正确的library下更改,以防copy过来的cell是在其他的library下,被改错.
4 Q. o5 U1 A H+ }5 h! _9 将不同电位的N井找出来.
( `* [8 Y) W6 i8 e3 H
" y7 d; V/ z) I5 L" r布局时注意:( B* Z0 ?' I3 ]( L
10 更改原理图后一定记得check and save
4 c; }$ z7 {, ]11 完成每个cell后要归原点( r& V9 L; g2 ]9 R
12 DEVICE的 个数 是否和原理图一至(有并联的管子时注意);各DEVICE的尺寸是否和原理图一至。一般在拿到原理图之后,会对布局有大概的规划,先画DEVICE,(DIVECE之间不必用最小间距,根据经验考虑连线空间留出空隙)再连线。画DEVICE后从EXTRACTED中看参数检验对错。对每个device器件的各端从什么方向,什么位置与其他物体连线 必须 先有考虑(与经验及floorplan的水平有关).
. B8 r Z3 h. h1 i13 如果一个cell调用其它cell,被调用的cell的vssx,vddx,vssb,vddb如果没有和外层cell连起来,要打上PIN,否则通不过diva检查.尽量在布局低层cell时就连起来。) h7 B" O* V5 y% z
14 尽量用最上层金属接出PIN。% c& b8 Y7 i/ d
15 接出去的线拉到cell边缘,布局时记得留出走线空间.7 P* k1 v+ b; p
16 金属连线不宜过长;
& \4 m$ w' t4 [! j5 N& E# l; s17 电容一般最后画,在空档处拼凑。+ V+ k' [4 a/ o# l8 J, m! R3 o/ w
18 小尺寸的mos管孔可以少打一点." H- F0 H7 J# N" |+ A. S. W# [1 i
19 LABEL标识元件时不要用y0层,mapfile不认。
' X" V% [/ T' h7 \( G20 管子的沟道上尽量不要走线;M2的影响比M1小.- h% L1 N5 N. x) n% x
21 电容上下级板的电压注意要均匀分布;电容的长宽不宜相差过大。可以多个电阻并联.
, K2 ]- x; _6 J: ~+ x/ t22 多晶硅栅不能两端都打孔连接金属。8 n& I# j. \8 J6 o9 D! @
23 栅上的孔最好打在栅的中间位置.
% T) M' k6 P! n r0 n( J, B24 U形的mos管用整片方形的栅覆盖diff层,不要用layer generation的方法生成U形栅.
H) V a* F6 m8 Q4 m) k# j+ z/ A+ S25 一般打孔最少打两个
& m9 F$ P/ `. Q8 x* ]2 `26 Contact面积允许的情况下,能打越多越好,尤其是input/output部分,因为电流较大.但如果contact阻值远大于diffusion则不适用.传导线越宽越好,因为可以减少电阻值,但也增加了电容值.6 f; `) U) O/ K* n" ]
27 薄氧化层是否有对应的植入层: d! {# b& t. V: l7 a
28 金属连接孔可以嵌在diffusion的孔中间.; K, v. Q% i$ Z% c& I& R# w( A
29 两段金属连接处重叠的地方注意金属线最小宽度
, i- `; z$ `1 k0 G: Y# D0 e# m. |30 连线接头处一定要重叠,画的时候将该区域放大可避免此错误。
4 d0 V& d# c# {* h$ W4 n% J5 o31 摆放各个小CELL时注意不要挤得太近,没有留出走线空间。最后线只能从DEVICE上跨过去。
2 V0 m0 D7 S; a3 b5 ?6 V: K+ i32 Text2,y0层只是用来做检查或标志用,不用于光刻制造.
, ]2 e1 w6 S5 n8 V$ l! P33 芯片内部的电源线/地线和ESD上的电源线/地线分开接;数模信号的电源线/地线分开。8 ^% J# ?/ ` X! J- H
34 Pad的pass窗口的尺寸画成整数90um.+ K8 E: v# ]0 Z1 ?0 u* T
35 连接Esd电路的线不能断,如果改变走向不要换金属层
9 M, ]1 V! d' n# \* V1 q36 Esd电路中无VDDX,VSSX,是VDDB,VSSB.# I! H0 H( {- ]
37 PAD和ESD最好使用M1连接,宽度不小于20um;使用M2连接时,pad上不用打VIA孔,在ESD电路上打。
$ C) M/ j( {4 Q' g38 PAD与芯片内部cell的连线要从ESD电路上接过去。, L: V/ C! k/ [( w
39 Esd电路的SOURCE放两边,DRAIN放中间。. N) W8 [( U6 G1 J+ ?* O
40 ESD的D端的孔到poly的间距为4,S端到poly的间距为^+0.2.防止大电流从D端进来时影响poly.
& O8 l. f t9 p. y# {8 e41 ESD的pmos管与其他ESD或POWER的nmos管至少相距70um以上。
: `1 ~ t8 W" A. c' z2 s; ^42 大尺寸的pmos/nmos与其他nmos/pmos(非powermos和ESD)的间距不够70um时,但最好不要小于50um,中间加NWELL,打上NTAP.
' ^% C* c ?# x( G) Y3 e43 NWELL和PTAP的隔离效果有什么不同?NWELL较深,效果较好.+ J+ Z E; V+ a- S1 G/ F
44 只有esd电路中的管子才可以用2*2um的孔.怎么判断ESD电路?上拉P管的D/G均接VDD,S接PAD;下拉N管的G/S接VSS,D接PAD.P/N管起二极管的作用.
0 C* o6 I. I- b R; V45 摆放ESD时nmos摆在最外缘,pmos在内.
0 {' {0 \( A1 b8 W2 s: F46 关于匹配电路,放大电路不需要和下面的电流源匹配。什么是匹配?使需要匹配的管子所处的光刻环境一样。 匹配分为横向,纵向,和中心匹配。- g+ r6 f9 [8 F$ [( j
1221为纵向匹配,12为中心匹配(把上方1转到下方1时,上方2也达到下方2位置)
1 y; _7 M- j! q' y. ~9 Q 21
& B5 j9 O) a+ O3 j) {9 b4 [! S中心匹配最佳。; }$ W/ J! D! I) n# @
47 尺寸非常小的匹配管子对匹配画法要求不严格.4个以上的匹配管子,局部和整体都匹配的匹配方式最佳.6 \# x/ u, f; Q7 |; H
48 在匹配电路的mos管左右画上dummy,用poly,poly的尺寸与管子尺寸一样,dummy与相邻的第一个poly gate的间距等于poly gate之间的间距.
& p! f$ b5 g; i; B0 g49 电阻的匹配,例如1,2两电阻需要匹配,仍是1221等方法。电阻dummy两头接地vssx。
7 C7 Q: d5 {" v2 R% P! A50 Via不要打在电阻体,电容(poly)边缘上面.
; B; H e/ U3 s6 f2 A51 05工艺中resistor层只是做检查用! G( ]( a$ {4 g/ W
52 电阻连线处孔越多,各个VIA孔的电阻是并联关系,孔形成的电阻变小.
2 V, c. X# k6 i) k9 _53 电阻的dummy是保证处于边缘的电阻与其他电阻蚀刻环境一样.4 Z0 \8 ~5 Z3 P& J) g( u/ I, J* J
54 电容的匹配,值,接线,位置的匹配。. q6 W3 e3 X3 a+ L% U+ M+ L5 x) i
55 电阻连接fuse的pad的连线要稍宽,因为通过的电流较大.fuse的容丝用最上层金属. C8 i n: d9 |! }, K
56 关于powermos6 T0 J. H7 a2 h
① powermos一般接pin,要用足够宽的金属线接,
- J3 a; ~( y7 g8 ~1 V② 几种缩小面积的画法。
+ _ k# [7 ?* ?5 _③ 栅的间距?无要求。栅的长度不能超过100um
6 Q, q9 s" ~6 [57 Power mos要考虑瞬时大电流通过的情况,保证电流到达各处的路径的电阻相差不大.(适应所有存在大电流通过的情况).* q/ z# ]3 }6 O# K- {# I7 T% o
58 金属层dummy要和金属走向一致,即如果M2横走,M2的dummy也是横走向" C1 ]' E* e6 T3 w& F
59 低层cell的pin,label等要整齐,and不要删掉以备后用.
/ }4 f8 Y0 K; [ \% @60 匹配电路的栅如果横走,之间连接用的金属线会是竖走,用金属一层,和规定的金属走向一致。( j5 Q4 R3 s! Y( \; o: c
61 不同宽度金属连接的影响?整个layout面积较大时影响可忽略." |# w. |& i( ?6 M. h
62 输出端节电容要小.多个管子并联,有一端是输出时注意做到这点.
8 E9 d' `# i% G0 c63 做DRACULA检查时,如果先运行drc,drc检查没有完毕时做了lvs检查,那么drc检查的每一步会比lvs检查的每一步快;反之,lvs会比drc快.
% p' e0 L, z6 ?2 W64 最终DRACULA通过之后在layout图中空隙处加上ptap,先用thin-oxid将空隙处填满,再打上孔,金属宽度不要超过10,即一行最多8个孔(06工艺)
- J! [( s$ d z0 s) J3 U7 j65 为防止信号串扰,在两电路间加上PTAP,此PTAP单独连接VSS PAD.* y8 l u. Q' t' u& o6 o- L+ X
66 金属上走过的电压很大时,为避免尖角放电,拐角处用斜角,不能走90度度的直角.
: M; j3 O5 n6 |- y67 如果w=20,可画成两个w=10mos管并联. i6 v7 I0 G1 M
68 并联的管子共用端为S端,或D端;串联的管子共用端为s/d端.' S1 G1 B4 \' a8 p% u' Z
5 B6 r# i- z" d4 ~8 n' r" ^出错检查:0 r$ W- u6 I& c) G* e0 v
69 DEVICE的各端是否都有连线;连线是否正确;
$ V6 K$ r) a/ ? v- ^+ S! k70 完成布局检查时要查看每个接线的地方是否都有连线,特别注意VSSX,VDDX1 [$ n( p9 q( F
71 查线时用SHOTS将线高亮显示,便于找出可以合并或是缩短距离的金属线。
2 o. i; i/ x* ]4 x& N3 n8 U72 多个电阻(大于两根)打上DUMMY。保证每根电阻在光刻时所处的环境一样,最外面的电阻的NPIM层要超出EPOLY2 0.55 um,即两根电阻间距的一半。
; T& ~& Y7 d3 J' I, V73 无关的MOS管的THIN要断开,不要连在一起7 [0 Q* r+ a- A/ Y( s, B
74 并联的管子注意漏源合并,不要连错线。一个管子的源端也是另一个管子的源端
' g- _1 b3 \& b75 做DRAC检查时最上层的pin的名称用text2标识。Text2的名称要和该pin的名称一样.8 Y# \/ a: T) M( `7 a& Z/ P
76 大CELL不要做DIVA检查,用DRACULE. * w. H w1 O D6 M
77 Text2层要打在最顶层cell里.如果打在pad上,于最顶层调用此PAD,Dracula无法认出此pin.
2 u& P' O( E/ _# B! S; ~3 x% m78 消除电阻dummy的lvs报错,把nimp和RPdummy层移出最边缘的电阻,不要覆盖dummy0 h }8 v9 j2 Y% R1 ~
79 06工艺中M1最小宽度0.8,如果用0.8的M1拐线,虽然diva的drc不报错,但DRACULE的drc会在拐角处报错.要在拐角处加宽金属线.
! W n/ q- G) g! v80 最后DRACULA的lvs通过,但是drc没有过,每次改正drc错误前可把layout图存成layout1,再改正.以免改错影响lvs不通过,旧版图也被保存下来了.
! ?/ h% B/ E9 x0 [$ c9 [81 Cell中间的连线尽量在低层cell中连完,不要放在高层cell中连,特别不要在最高层cell中连,因为最高层cell的布局经常会改动,走线容易因为cell的移动变得混乱.
0 G+ M1 @5 h/ U7 S82 DRACULA的drc无法检查出pad必须满足pad到与pad无关的物体间距为10这一规则.2 y4 B- q' A( v: X5 o2 L% t
83 做DRACULA检查时开两个窗口,一个用于lvs,一个用于drc.可同时进行,节省时间.' y; d+ w5 p6 S8 {+ Z
; e6 N1 h% T9 s$ M$ W
容易犯的错误
# Q2 H& N# v# V84 电阻忘记加dummy
! J$ P/ p3 t# p/ @' V85 使用NS功能后没有复原(选取AS),之后又进行整图移动操作,结果被NS的元件没有移动,图形被破坏.1 A( c" }9 |8 M3 r5 O0 l7 d
86 使用strech功能时错选.每次操作时注意看图左下角提示.
D5 F# e' U# c: W% Z87 Op电路中输入放大端的管子的衬底不接vddb/vddx. s$ K- x: }& n- k
88 是否按下capslock键后没有还原就操作6 R/ ]; r0 [) X" m
/ D6 m' ], J5 T# f
节省面积的途径
9 y6 k" ~; }& F2 a) U89 电源线下面可以画有器件.节省面积., T( F5 h/ V7 A! L
90 电阻上面可以走线,画电阻的区域可以充分利用。
* _# ]1 N+ ~: f0 C$ {6 T91 电阻的长度画越长越省面积。
* \6 c1 l, c8 x; @$ q( ^. B92 走线时金属线宽走最小可以节省面积.并不需要走孔的宽度.) l( o5 G! |4 O8 t# s( M, L5 d8 v2 f2 z
93 做新版本的layout图时,旧图保存,不要改动或删除。减小面积时如果低层CELL的线有与外层CELL相连,可以从更改连线入手,减小走线面积。
# h" |5 B W/ J5 }9 S+ ~# [94 版图中面积被device,device的间隔和走线空间分割。减小面积一般从走线空间入手,更改FLOORPLAN. 谢谢大家看到这里!!! |
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