ITO薄膜激光刻蚀设备匀光系统的Matlab实现 + u" Y. P/ |- N8 Q触摸屏的广泛应用,ITO导电薄膜受到人们的重视。而紫外激光的波长短、能量集中、分辨率高,因此在去除焊料外壳、在电子线路板上钻微孔、在薄膜或薄片材料中制作微通道、进行精密切割和对接等微加工领域具有广泛的应用。7 `4 d- I) x& y; ~2 _, s
# b. T5 b( U. N& Y
. j3 ^' _% S* O: T: IITO薄膜激光刻蚀设备正是利用紫外激光器的高能量特性来对ITO薄膜进行冷加工处理,在薄膜表面制作微细的通道,完成图形的制备。与传统的湿法光刻技术不同,它不需要事先在薄膜上用光刻胶形成掩模,既简化了工艺流程也不会造成环境污染。本系统刻蚀的线宽在几十微米,属于激光微细加工技术的范畴。在加工过程中由于激光能量的高斯分布特性,在物件划槽截面形状为椭圆或类三角形,影响了ITO导电薄膜的性能,进而制约了液晶显示行业的发展。本加工设备中自行研制了一套激光微细加工的匀光系统,使激光能量分布均匀,呈现类似的平顶分布,很好地解决了上述问题。与市场上已经成熟的光束整形器件相比,匀光系统有相对的优势。 2 d2 ?$ s6 ?9 S; U : U8 l& g7 G" n. y$ F) d