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磁控溅射法沉积TCO薄膜的电源技术

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Zedd

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发表于 2019-4-17 10:42 | 只看该作者 回帖奖励 |倒序浏览 |阅读模式

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磁控溅射法沉积TCO薄膜的电源技术
* Y( h( x: r' p: d2 T

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本文重点介绍了磁控溅射TCO薄膜的电源技术发展现状及进展,首先简要说明了目前应用最广泛的直流电源技术及具备灭弧能力的脉冲电源技术的原理和主要优缺点。
- i$ \% D# Y5 T/ b( G' O( F9 }+ i
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relchhiclty

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2#
发表于 2019-4-17 15:24 | 只看该作者
最近正在找这方面的资料 谢谢楼主分享

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