调制中频高功率脉冲磁控溅射电源的设计

A-Lin · 发表于 2019-4-29 08:00

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调制中频高功率脉冲磁控溅射电源的设计

文章指出叠加直流的HPPMS技术有直流部分占空比较高和不可控制2大缺点,在做沉积薄膜实验时无法提供溅射所需的高功率,导致空比较低,溅射效率稍低的高功率脉冲产生。

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relchhiclty · 发表于 2019-4-29 17:44

看看楼主怎么说的

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