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基于前馈控制的等离子体电源恒流控制策略

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基于前馈控制的等离子体电源恒流控制策略
0 I7 o9 F7 s' i- j- o- ?
1 Q. b5 z' ~" |为抑制负载扰动对恒流控制的影响,针对等离子体负载需求,提出一种基于前馈控制的等离子体电源恒流控制策略。6 \1 V) S; y1 s; w( }# W7 K5 O
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发表于 2019-6-3 15:45 | 只看该作者
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