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版图经验总结1 查看捕捉点设置是否正确.08工艺为0.1,06工艺为0.05,05工艺为0.025.
% E0 Z1 {" c* s; a$ q) T$ c; y7 y2 Cell名称不能以数字开头.否则无法做DRACULA检查.
# ~* o0 r. F M% ^# w7 w1 S7 ^3布局前考虑好出PIN的方向和位置$ u9 Z1 s7 @0 G5 W9 F+ w x6 r
4布局前分析电路,完成同一功能的MOS管画在一起
8 [& \2 y8 Q+ H5 U' w$ c0 k: _5对两层金属走向预先订好。一个图中栅的走向尽量一致,不要有横有竖。
- v n. G7 E, Y! ]0 B6对pin分类,vdd,vddx注意不要混淆,不同电位(衬底接不同电压)的n井分开混合信号的电路尤其注意这点. 7 在正确的路径下(一般是进到~/opus)打开icfb.' q6 d# F- c$ e- f$ r f9 O- i
8更改cell时查看路径,一定要在正确的library下更改,以防copy过来的cell是在其他的library下,被改错. 9将不同电位的N井找出来.7 Q) T- d5 Y2 ]5 a3 x x. r. w
10 更改原理图后一定记得check and save, X7 r& {6 x% @. W/ A8 m8 ?
11 完成每个cell后要归原点
- M5 H: W# M7 v1 w3 D4 x* l7 n# s D12 DEVICE的
. Q7 ^ W& g1 T个数, [. e8 ?' A( p
是否和原理图一至(有并联的管子时注意);各DEVICE的尺寸是否和原理图一至。一般在拿到原理图之后,会对布局有大概的规划,先画DEVICE,(DIVECE之间不必用最小间距,根据经验考虑连线空间留出空隙)再连线。画DEVICE后从EXTRACTED中看参数检验对错。对每个device器件的各端从什么方向,什么位置与其他物体连线
h+ b2 Y" i9 V7 g" O" n! t' R( P必须
8 X7 r# Y( {2 B先有考虑(与经验及floorplan的水平有关).
* W W2 M+ l2 \1 _13 如果一个cell调用其它cell,被调用的cell的vssx,vddx,vssb,vddb如果没有和外层cell连起来,要打上PIN,否则通不过diva检查.尽量在布局低层cell时就连起来。
U5 P+ z% e( k# o14 尽量用最上层金属接出PIN。
|5 _$ x& [1 ?/ T' l15 接出去的线拉到cell边缘,布局时记得留出走线空间.
6 K8 d4 P+ S9 L) f; M' B; k* }& r16 金属连线不宜过长;6 K9 ?. }, _) K4 S
17 电容一般最后画,在空档处拼凑。& a* s" @5 D* S4 H5 j+ |+ S
18 小尺寸的mos管孔可以少打一点.
$ E" O% s# A4 G4 L19 LABEL标识元件时不要用y0层,mapfile不认。
8 j: I! b( o5 \, j s1 @20 管子的沟道上尽量不要走线;M2的影响比M1小.
% N& K9 f7 Y6 C2 O9 q21 电容上下级板的电压注意要均匀分布;电容的长宽不宜相差过大。可以多个电阻并联.- @& r+ v- a5 A. K V$ @6 w
22 多晶硅栅不能两端都打孔连接金属。4 Q/ | S# L- D' Q0 }+ O' G; \' K2 k
23 栅上的孔最好打在栅的中间位置.
- e( b, |: X" E8 M24 U形的mos管用整片方形的栅覆盖diff层,不要用layer generation的方法生成U形栅.
/ D6 J) g1 f% W0 s3 U25 一般打孔最少打两个) _; o/ D! k# x
26 Contact面积允许的情况下,能打越多越好,尤其是input/output部分,因为电流较大.但如果contact阻值远大于diffusion则不适用.传导线越宽越好,因为可以减少电阻值,但也增加了电容值.% ?: e3 I! h, s$ j5 r% X9 Y
27 薄氧化层是否有对应的植入层2 G" Y( f6 H5 C5 g0 Y x
28 金属连接孔可以嵌在diffusion的孔中间./ Z, W! H$ y. L
29 两段金属连接处重叠的地方注意金属线最小宽度8 `* I8 s- K" q6 j4 s
30 连线接头处一定要重叠,画的时候将该区域放大可避免此错误。
# N2 S- a& i, Y31 摆放各个小CELL时注意不要挤得太近,没有留出走线空间。最后线只能从DEVICE上跨过去。4 F( h! p, d; a8 x% y1 u
32 Text2,y0层只是用来做检查或标志用,不用于光刻制造.
* j, V D/ q; U& _+ D) A33 芯片内部的电源线/地线和ESD上的电源线/地线分开接;数模信号的电源线/地线分开。6 o: W4 m2 ^& H' U) f* c
34 Pad的pass窗口的尺寸画成整数90um.
5 l l: p/ D$ X4 |7 B% ` a% ?) R35 连接Esd电路的线不能断,如果改变走向不要换金属层2 |- Y8 N: R; H4 W# a) g' H' m8 L) ]5 Q
36 Esd电路中无VDDX,VSSX,是VDDB,VSSB.* F; I: j" h6 `4 z
37 PAD和ESD最好使用M1连接,宽度不小于20um;使用M2连接时,pad上不用打VIA孔,在ESD电路上打。1 { d; t3 c( w9 q. l4 y! j
38 PAD与芯片内部cell的连线要从ESD电路上接过去。
E$ i" Y' {- ?: ~' C39 Esd电路的SOURCE放两边,DRAIN放中间。2 Y% |) ]# c w4 |3 }- b5 p
40 ESD的D端的孔到poly的间距为4,S端到poly的间距为^+0.2.防止大电流从D端进来时影响poly.# J: g% I5 s" j+ F
41 ESD的pmos管与其他ESD或POWER的nmos管至少相距70um以上。
+ A9 M D% a" W& `42 大尺寸的pmos/nmos与其他nmos/pmos(非powermos和ESD)的间距不够70um时,但最好不要小于50um,中间加NWELL,打上NTAP.( `+ z. P* d! l! G8 X4 w
43 NWELL和PTAP的隔离效果有什么不同?NWELL较深,效果较好.
( ]& b, h- ^, O9 P# i2 t; W1 z8 O44 只有esd电路中的管子才可以用2*2um的孔.怎么判断ESD电路?上拉P管的D/G均接VDD,S接PAD;下拉N管的G/S接VSS,D接PAD.P/N管起二极管的作用.
/ Y% q3 ?+ _6 P( p' _3 D45 摆放ESD时nmos摆在最外缘,pmos在内.
) Q" D |) Z" k$ l8 i; w) M46 关于匹配电路,放大电路不需要和下面的电流源匹配。什么是匹配?使需要匹配的管子所处的光刻环境一样。' {" X$ y& f: p. R2 h) e
匹配分为横向,纵向,和中心匹配。
, c" P) y" y0 ], |+ V' n4 @1221为纵向匹配,12为中心匹配(把上方1转到下方1时,上方2也达到下方2位置) 217 {% h! W9 l* t; Y' Z6 D+ a
中心匹配最佳。
& |* }# I7 g7 _ S1 x47 尺寸非常小的匹配管子对匹配画法要求不严格.4个以上的匹配管子,局部和整体都匹配的匹配方式最佳.
; M! f4 E* Q# j, F, _48 在匹配电路的mos管左右画上dummy,用poly,poly的尺寸与管子尺寸一样,dummy与相邻的第一个poly gate的间距等于poly gate之间的间距.
8 c: E$ Y5 I3 Q0 W+ @49 电阻的匹配,例如1,2两电阻需要匹配,仍是1221等方法。电阻dummy两头接地vssx。
1 Y3 ^5 T# l" w" U50 Via不要打在电阻体,电容(poly)边缘上面.. P/ e& D a, s
51 05工艺中resistor层只是做检查用! Q( e- _1 X E9 } S& o
52 电阻连线处孔越多,各个VIA孔的电阻是并联关系,孔形成的电阻变小.* s, K$ `1 v* R( o
53 电阻的dummy是保证处于边缘的电阻与其他电阻蚀刻环境一样./ x! ]# @( i; `
54 电容的匹配,值,接线,位置的匹配。/ R5 }& u+ \0 U4 x
55 电阻连接fuse的pad的连线要稍宽,因为通过的电流较大.fuse的容丝用最上层金属.9 o5 x, c, p4 T
56 关于powermos6 J" ~6 R) N q7 d+ m& e7 ~6 D% ~8 L
① powermos一般接pin,要用足够宽的金属线接,4 w) ?: V: Z; Q; ?$ A O1 B
② 几种缩小面积的画法。
* Y) I. ~- b3 ]+ U* W$ X( q③ 栅的间距?无要求。栅的长度不能超过100um0 T1 U+ a4 O1 G2 ~
57 Power mos要考虑瞬时大电流通过的情况,保证电流到达各处的路径的电阻相差不大.(适应所有存在大电流通过的情况).6 e4 c# N1 _. ?7 j
58 金属层dummy要和金属走向一致,即如果M2横走,M2的dummy也是横走向
[8 D3 m7 y9 E2 \59 低层cell的pin,label等要整齐,and不要删掉以备后用.3 L; d7 t3 A1 Q
60 匹配电路的栅如果横走,之间连接用的金属线会是竖走,用金属一层,和规定的金属走向一致。
n- ^% V5 _6 e; i7 M. ~# R( e& ^61 不同宽度金属连接的影响?整个layout面积较大时影响可忽略.
+ i) U. M5 [ P' [; @62 输出端节电容要小.多个管子并联,有一端是输出时注意做到这点.) b D7 |7 i/ m( r
63 做DRACULA检查时,如果先运行drc,drc检查没有完毕时做了lvs检查,那么drc检查的每一步会比lvs检查的每一步快;反之,lvs会比drc快." z0 C( e* j/ y; e2 G
64 最终DRACULA通过之后在layout图中空隙处加上ptap,先用thin-oxid将空隙处填满,再打上孔,金属宽度不要超过10,即一行最多8个孔(06工艺)
( s; ^. m7 w' V$ b3 L$ F8 _65 为防止信号串扰,在两电路间加上PTAP,此PTAP单独连接VSS PAD.( y/ A5 K+ p7 S4 d/ I. H4 Q6 j
66 金属上走过的电压很大时,为避免尖角放电,拐角处用斜角,不能走90度度的直角.0 ]- C# X! m9 y, e2 R4 S& Y( d, d
67 如果w=20,可画成两个w=10mos管并联' [1 [) v# B$ Q/ T% m, g) i
68 并联的管子共用端为S端,或D端;串联的管子共用端为s/d端.出错检查:
& a+ E$ ~3 W R( M& [9 v69 DEVICE的各端是否都有连线;连线是否正确;
- n9 L$ {# T& R$ e) _: t70 完成布局检查时要查看每个接线的地方是否都有连线,特别注意VSSX,VDDX
; y- m+ y0 [" D" ^* t2 l2 {- s71 查线时用SHOTS将线高亮显示,便于找出可以合并或是缩短距离的金属线。/ Y! l- E" j7 j6 S O+ _7 ]
72 多个电阻(大于两根)打上DUMMY。保证每根电阻在光刻时所处的环境一样,最外面的电阻的NPIM层要超出EPOLY2 0.55 um,即两根电阻间距的一半。
$ ?' ]. m1 l, T3 {6 g1 d4 h7 S73 无关的MOS管的THIN要断开,不要连在一起 Z, G2 ` f, y
74 并联的管子注意漏源合并,不要连错线。一个管子的源端也是另一个管子的源端9 x7 ? ^% X( ^$ F! X0 e* B* _. Q1 x
75 做DRAC检查时最上层的pin的名称用text2标识。Text2的名称要和该pin的名称一样.
, l( m: E6 G7 |: w( [0 K1 q: u76 大CELL不要做DIVA检查,用DRACULE.
7 g' p( V3 G3 `; J! q4 F77 Text2层要打在最顶层cell里.如果打在pad上,于最顶层调用此PAD,Dracula无法认出此pin.
4 Y$ @3 c0 |( b; H B78 消除电阻dummy的lvs报错,把nimp和RPdummy层移出最边缘的电阻,不要覆盖dummy
" g) v7 g) \7 y9 E79 06工艺中M1最小宽度0.8,如果用0.8的M1拐线,虽然diva的drc不报错,但DRACULE的drc会在拐角处报错.要在拐角处加宽金属线.! b1 W. Z* Z. }" W8 i
80 最后DRACULA的lvs通过,但是drc没有过,每次改正drc错误前可把layout图存成layout1,再改正.以免改错影响lvs不通过,旧版图也被保存下来了.
0 o0 x% Q( ~0 u7 m) W- C. y# i81 Cell中间的连线尽量在低层cell中连完,不要放在高层cell中连,特别不要在最高层cell中连,因为最高层cell的布局经常会改动,走线容易因为cell的移动变得混乱.. y3 p4 [) v: N' B( ~: h; G5 Z- @
82 DRACULA的drc无法检查出pad必须满足pad到与pad无关的物体间距为10这一规则.5 B9 U9 ^/ ], g# b. h) [; M, d
83 做DRACULA检查时开两个窗口,一个用于lvs,一个用于drc.可同时进行,节省时间.容易犯的错误( E$ t- p ?1 v! ?/ ?
84 电阻忘记加dummy
5 f- }* w8 \- }7 a; {85 使用NS功能后没有复原(选取AS),之后又进行整图移动操作,结果被NS的元件没有移动,图形被破坏.. ^; Q* w0 w1 O, l
86 使用strech功能时错选.每次操作时注意看图左下角提示.0 P# G! n# y0 J" W- W$ i+ f+ p
87 Op电路中输入放大端的管子的衬底不接vddb/vddx.
) R( `! C, l: p* o; @* g$ z88 是否按下capslock键后没有还原就操作/ ^# o6 o1 i% e, ~- M' S
节省面积的途径4 U" p1 K }- {5 W, w: K
89 电源线下面可以画有器件.节省面积.
5 Y4 E$ i+ v5 I5 X; \7 c90 电阻上面可以走线,画电阻的区域可以充分利用。
" O/ g* O) w6 K( F% X9 h91 电阻的长度画越长越省面积。
7 o' p9 y" @+ Y/ Z2 v0 S4 Z92 走线时金属线宽走最小可以节省面积.并不需要走孔的宽度.
! U2 _1 ~8 a* ]- `! \93 做新版本的layout图时,旧图保存,不要改动或删除。减小面积时如果低层CELL的线有与外层CELL相连,可以从更改连线入手,减小走线面积。
. T0 G, N5 l) `7 E8 h6 b0 o94 版图中面积被device,device的间隔和走线空间分割。减小面积一般从走线空间入手,更改FLOORPLAN+ }) q4 D; Y) f( z8 o
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