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版图经验总结1 查看捕捉点设置是否正确.08工艺为0.1,06工艺为0.05,05工艺为0.025.8 c4 }) D8 ^3 Y. x: w
2 Cell名称不能以数字开头.否则无法做DRACULA检查.
. z l. O) o0 g5 ]8 |( E5 {3布局前考虑好出PIN的方向和位置, T2 Y! H2 ]$ [/ v) j
4布局前分析电路,完成同一功能的MOS管画在一起9 v ] `8 Q, a. c7 O+ R7 E- v' Q
5对两层金属走向预先订好。一个图中栅的走向尽量一致,不要有横有竖。
# m" S0 G9 U0 u6对pin分类,vdd,vddx注意不要混淆,不同电位(衬底接不同电压)的n井分开混合信号的电路尤其注意这点. 7 在正确的路径下(一般是进到~/opus)打开icfb." J; _3 i* e9 G. [
8更改cell时查看路径,一定要在正确的library下更改,以防copy过来的cell是在其他的library下,被改错. 9将不同电位的N井找出来.
$ ~* H7 j1 h; L. E" z10 更改原理图后一定记得check and save
( y& `5 Z# z- d1 Y }11 完成每个cell后要归原点
. v% l0 W' m6 q" t# i c! w+ O& y3 H12 DEVICE的
5 T" E6 q' m, i0 d; t) d8 _个数- k+ u f: m' b; N' x
是否和原理图一至(有并联的管子时注意);各DEVICE的尺寸是否和原理图一至。一般在拿到原理图之后,会对布局有大概的规划,先画DEVICE,(DIVECE之间不必用最小间距,根据经验考虑连线空间留出空隙)再连线。画DEVICE后从EXTRACTED中看参数检验对错。对每个device器件的各端从什么方向,什么位置与其他物体连线. _; u6 x. L: Q, H& b0 ^
必须
7 i2 T" s" k& m7 _, I先有考虑(与经验及floorplan的水平有关).
6 y6 ^: `0 x9 m13 如果一个cell调用其它cell,被调用的cell的vssx,vddx,vssb,vddb如果没有和外层cell连起来,要打上PIN,否则通不过diva检查.尽量在布局低层cell时就连起来。1 d- y3 N- l5 J: P- E
14 尽量用最上层金属接出PIN。" m0 n9 g. W4 J8 |4 U" N1 b6 b
15 接出去的线拉到cell边缘,布局时记得留出走线空间./ O( N0 F. X* N+ Y# t9 u
16 金属连线不宜过长;
' }9 n/ f* y: }9 |17 电容一般最后画,在空档处拼凑。' N4 H5 e4 E$ b' o; A2 @( w9 D
18 小尺寸的mos管孔可以少打一点.
5 S& |6 C6 B3 J6 f3 C" [0 R! K19 LABEL标识元件时不要用y0层,mapfile不认。6 @. f. o' B3 C) c. k _
20 管子的沟道上尽量不要走线;M2的影响比M1小.' U- e! N2 ]' F8 r0 t) l
21 电容上下级板的电压注意要均匀分布;电容的长宽不宜相差过大。可以多个电阻并联.
4 g/ k8 f: @2 b; D. g22 多晶硅栅不能两端都打孔连接金属。- [ b+ V Y% }, _% j4 L
23 栅上的孔最好打在栅的中间位置.! t; b$ r: ~3 e- g& o1 q) u
24 U形的mos管用整片方形的栅覆盖diff层,不要用layer generation的方法生成U形栅.- q$ x8 p' t4 h; j$ Q! I4 Z+ n- A4 s
25 一般打孔最少打两个
2 C) j2 {8 k l; ?. n6 y26 Contact面积允许的情况下,能打越多越好,尤其是input/output部分,因为电流较大.但如果contact阻值远大于diffusion则不适用.传导线越宽越好,因为可以减少电阻值,但也增加了电容值.
% E s( i) ~6 S {* U27 薄氧化层是否有对应的植入层4 O; _* V5 u5 Q, K0 m
28 金属连接孔可以嵌在diffusion的孔中间. \% y& d O2 G6 a2 @/ |+ A
29 两段金属连接处重叠的地方注意金属线最小宽度
* C+ j* t8 i6 i- }30 连线接头处一定要重叠,画的时候将该区域放大可避免此错误。1 \; x3 l* L8 M9 l
31 摆放各个小CELL时注意不要挤得太近,没有留出走线空间。最后线只能从DEVICE上跨过去。8 j9 `) m& l' [2 {* o+ G! J
32 Text2,y0层只是用来做检查或标志用,不用于光刻制造.
F% b8 j5 v9 L& L, s! T: S# J" p33 芯片内部的电源线/地线和ESD上的电源线/地线分开接;数模信号的电源线/地线分开。- |8 Q. k) _' o8 p
34 Pad的pass窗口的尺寸画成整数90um.
4 X+ Y/ h$ H' ^; d7 ]35 连接Esd电路的线不能断,如果改变走向不要换金属层
& \$ i3 Y- X9 ~36 Esd电路中无VDDX,VSSX,是VDDB,VSSB.
# s9 {; \+ S c& f37 PAD和ESD最好使用M1连接,宽度不小于20um;使用M2连接时,pad上不用打VIA孔,在ESD电路上打。
$ n' L6 b, W& g; x% [7 I38 PAD与芯片内部cell的连线要从ESD电路上接过去。+ J) [0 [% t( ^7 @/ h
39 Esd电路的SOURCE放两边,DRAIN放中间。/ n/ U- p0 s( q; L3 L) [0 }% {! o
40 ESD的D端的孔到poly的间距为4,S端到poly的间距为^+0.2.防止大电流从D端进来时影响poly.
/ ~6 n1 o' c2 p Q) f, _41 ESD的pmos管与其他ESD或POWER的nmos管至少相距70um以上。
' P% Q# Q0 e- {5 I42 大尺寸的pmos/nmos与其他nmos/pmos(非powermos和ESD)的间距不够70um时,但最好不要小于50um,中间加NWELL,打上NTAP.
$ h, f0 `& X$ M5 G% c5 Y43 NWELL和PTAP的隔离效果有什么不同?NWELL较深,效果较好.
4 f3 ?' q4 |1 D9 |( b& S9 ^$ x44 只有esd电路中的管子才可以用2*2um的孔.怎么判断ESD电路?上拉P管的D/G均接VDD,S接PAD;下拉N管的G/S接VSS,D接PAD.P/N管起二极管的作用.3 x" H- ?9 c. Y# {$ o7 p
45 摆放ESD时nmos摆在最外缘,pmos在内.0 Y5 t% w( K! d$ b
46 关于匹配电路,放大电路不需要和下面的电流源匹配。什么是匹配?使需要匹配的管子所处的光刻环境一样。
9 z; D# o) N7 ?2 U% Z& U匹配分为横向,纵向,和中心匹配。
9 u. q% z! A( Q8 A3 D' q- w( d5 E' j1221为纵向匹配,12为中心匹配(把上方1转到下方1时,上方2也达到下方2位置) 21
/ j l3 s$ f- Q$ ?! \! q中心匹配最佳。
& q& e# I- W- p% _" b. I8 d47 尺寸非常小的匹配管子对匹配画法要求不严格.4个以上的匹配管子,局部和整体都匹配的匹配方式最佳.
5 U% i- g( U0 h7 {48 在匹配电路的mos管左右画上dummy,用poly,poly的尺寸与管子尺寸一样,dummy与相邻的第一个poly gate的间距等于poly gate之间的间距.
: L4 f, N1 }) z; l49 电阻的匹配,例如1,2两电阻需要匹配,仍是1221等方法。电阻dummy两头接地vssx。/ A2 w0 l% l" F# Z, J2 ~
50 Via不要打在电阻体,电容(poly)边缘上面.
, f# j9 O4 N) _51 05工艺中resistor层只是做检查用
' f/ X8 p/ D2 P/ f52 电阻连线处孔越多,各个VIA孔的电阻是并联关系,孔形成的电阻变小.
! J2 [! L$ N6 Y53 电阻的dummy是保证处于边缘的电阻与其他电阻蚀刻环境一样.
( W& F6 R( D1 t. R1 ?- r& N3 z54 电容的匹配,值,接线,位置的匹配。9 K" q7 a) O5 ?: L
55 电阻连接fuse的pad的连线要稍宽,因为通过的电流较大.fuse的容丝用最上层金属.
" c$ R% M- ]0 \& C$ O5 z56 关于powermos: U$ J4 v% `9 |4 P2 V5 X9 n+ W
① powermos一般接pin,要用足够宽的金属线接,3 [2 g- x K* G
② 几种缩小面积的画法。
0 F/ C0 Q; K+ R' D0 k, m③ 栅的间距?无要求。栅的长度不能超过100um
% K6 v; ~7 ]4 U+ H. {) T57 Power mos要考虑瞬时大电流通过的情况,保证电流到达各处的路径的电阻相差不大.(适应所有存在大电流通过的情况).& G: E2 h/ ~* R; y
58 金属层dummy要和金属走向一致,即如果M2横走,M2的dummy也是横走向
% `' l8 U2 H3 T59 低层cell的pin,label等要整齐,and不要删掉以备后用.% D+ Y$ b. u1 _ n! q1 @
60 匹配电路的栅如果横走,之间连接用的金属线会是竖走,用金属一层,和规定的金属走向一致。
$ X- G6 T% \, P4 q61 不同宽度金属连接的影响?整个layout面积较大时影响可忽略./ ?2 h/ X( j A" M5 ~4 X
62 输出端节电容要小.多个管子并联,有一端是输出时注意做到这点.
8 V# L+ K- }2 \" K2 d. y/ n63 做DRACULA检查时,如果先运行drc,drc检查没有完毕时做了lvs检查,那么drc检查的每一步会比lvs检查的每一步快;反之,lvs会比drc快.5 U. v" G A9 D' D7 Z
64 最终DRACULA通过之后在layout图中空隙处加上ptap,先用thin-oxid将空隙处填满,再打上孔,金属宽度不要超过10,即一行最多8个孔(06工艺)
2 U% v+ `% J( ?4 d* t8 A65 为防止信号串扰,在两电路间加上PTAP,此PTAP单独连接VSS PAD.
x+ D, R; T" }" K8 {66 金属上走过的电压很大时,为避免尖角放电,拐角处用斜角,不能走90度度的直角.* T4 S7 ~! Z' N# k/ x/ J; w" l) }
67 如果w=20,可画成两个w=10mos管并联# b1 W7 Q/ _) O" u0 ?* P% g, H4 u
68 并联的管子共用端为S端,或D端;串联的管子共用端为s/d端.出错检查:
! ^: t: V$ U# D69 DEVICE的各端是否都有连线;连线是否正确;
; |) j9 g" s; k/ J6 S70 完成布局检查时要查看每个接线的地方是否都有连线,特别注意VSSX,VDDX
" Y! P' _3 |$ Y# u' u% t$ k71 查线时用SHOTS将线高亮显示,便于找出可以合并或是缩短距离的金属线。
2 |* c) x; p1 h! h& {72 多个电阻(大于两根)打上DUMMY。保证每根电阻在光刻时所处的环境一样,最外面的电阻的NPIM层要超出EPOLY2 0.55 um,即两根电阻间距的一半。# `& N! w- S& c! f) _- d
73 无关的MOS管的THIN要断开,不要连在一起+ T" }/ w2 u; ]( Q3 a/ J
74 并联的管子注意漏源合并,不要连错线。一个管子的源端也是另一个管子的源端
, O* L! x/ h, X1 o6 t# ~75 做DRAC检查时最上层的pin的名称用text2标识。Text2的名称要和该pin的名称一样.
E/ R2 h. p0 N$ k* r76 大CELL不要做DIVA检查,用DRACULE.
4 d( H4 F) U* F; V5 E) {+ P77 Text2层要打在最顶层cell里.如果打在pad上,于最顶层调用此PAD,Dracula无法认出此pin.
& ]3 Y0 P& Y2 k. N( y8 G% A78 消除电阻dummy的lvs报错,把nimp和RPdummy层移出最边缘的电阻,不要覆盖dummy5 \% a! ]2 `6 A9 s
79 06工艺中M1最小宽度0.8,如果用0.8的M1拐线,虽然diva的drc不报错,但DRACULE的drc会在拐角处报错.要在拐角处加宽金属线.
6 a1 A7 Y" y ^6 L, \$ ]0 k3 t4 F80 最后DRACULA的lvs通过,但是drc没有过,每次改正drc错误前可把layout图存成layout1,再改正.以免改错影响lvs不通过,旧版图也被保存下来了.( l9 K, W4 ~( O: F* i! y
81 Cell中间的连线尽量在低层cell中连完,不要放在高层cell中连,特别不要在最高层cell中连,因为最高层cell的布局经常会改动,走线容易因为cell的移动变得混乱.+ D( ^9 `* i* |! I7 a6 O
82 DRACULA的drc无法检查出pad必须满足pad到与pad无关的物体间距为10这一规则.5 ~7 Q% {9 G4 H% z4 l! O( C
83 做DRACULA检查时开两个窗口,一个用于lvs,一个用于drc.可同时进行,节省时间.容易犯的错误, L/ g/ B( x8 S- e! v9 \% X/ p
84 电阻忘记加dummy
* a. X. r8 w9 l; J85 使用NS功能后没有复原(选取AS),之后又进行整图移动操作,结果被NS的元件没有移动,图形被破坏.1 h! h; W$ J3 t0 r" p" k
86 使用strech功能时错选.每次操作时注意看图左下角提示.
4 _3 g0 w1 l: g87 Op电路中输入放大端的管子的衬底不接vddb/vddx.5 l. c; I+ u1 z) K- ` ?
88 是否按下capslock键后没有还原就操作
. w; c. G! }. H节省面积的途径
' P' W/ `( N/ [& ]2 K89 电源线下面可以画有器件.节省面积.
+ I' k' h& v) M% A1 c90 电阻上面可以走线,画电阻的区域可以充分利用。: l `& C6 F8 _ L) M1 s4 `3 p/ I5 q
91 电阻的长度画越长越省面积。
6 f% {$ c- Q+ N/ I92 走线时金属线宽走最小可以节省面积.并不需要走孔的宽度.
' o7 X& h, p9 ^" }1 [93 做新版本的layout图时,旧图保存,不要改动或删除。减小面积时如果低层CELL的线有与外层CELL相连,可以从更改连线入手,减小走线面积。
: i5 a2 `+ S+ V z8 O: h* I94 版图中面积被device,device的间隔和走线空间分割。减小面积一般从走线空间入手,更改FLOORPLAN
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