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本帖最后由 Happyday@ 于 2020-11-26 16:11 编辑 {. E8 U* f3 {! u! C
% Z/ G% q2 {" y; \9 m( D; U 1.静电和静电的危害# G- F: h$ c$ X) G& V
静电是一种电能,它存留于物体表面,是正负电荷在局部范围内失去平衡的结果,是通过电子或离子的转换而形成的。静电现象是电荷在产生和消失过程中产生的电现象的总称。如摩擦起电、人体起电等现象。 随着科技发展,静电现象已在静电喷涂、静电纺织、静电分选、静电成像等领域得到广泛的有效应用。但在另一方面,静电的产生在许多领域会带来重大危害和损失。例如在第一个阿波罗载人宇宙飞船中,由于静电放电导致爆炸,使三名宇航员丧生;在火药制造过程中由于静电放电(ESD),造成爆炸伤亡的事故时有发生。在电子工业中,随着集成度越来越高,集成电路的内绝缘层越来越薄,互连导线宽度与间距越来越小,例如CMOS器件绝缘层的典型厚度约为0.1μm,其相应耐击穿电压在80-100V;VMOS器件的绝缘层更薄,击穿电压在30V。而在电子产品制造中以及运输、存储等过程中所产生的静电电压远远超过MOS器件的击穿电压,往往会使器件产生硬击穿或软击穿(器件局部损伤)现象,使其失效或严重影响产品的可靠性。$ A g" a0 E2 N! G: j
为了控制和消除ESD,美国、西欧和日本等发达国家均制定了国家、军用和企业标准或规定。从静电敏感元器件的PCB设计、制造、购买、入库、检验、仓储、装配、调试、半成品与成品的包装、运输等均有相应规定,对静电防护器材的制造使用和管理也有较严格的规章制度要求。我国也参照国际标准制定了军用和企业标准。例如有航天部、机电部、石油部等标准。
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2.静电敏感器件(SSD)+ y2 R. `) p) H" U7 T
# j ~( o6 u" @8 i, u$ Y1 s7 ` 对静电反应敏感的器件称为静电敏感元器件(SSD)。静电敏感器件主要是指超大规模集成电路,特别是金属化膜半导体(MOS电路)。可根据SSD分级表,针对不同的SSD器件,采取不同的静电防护措施。, B1 x% g P' E% I; D, k3 I- M
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3.电子产品制造中的静电源
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(1)人体的活动,人与衣服、鞋、袜等物体之间的摩擦、接触和分离等产生的静电是电子产品制造中主要静电源之一。人体静电是导致器件产生硬(软)击穿的主要原因。人体活动产生的静电电压约0.5-2KV。另外空气湿度对静电电压影响很大,若在干燥环境中还要上升1个数量级。
: H) }/ u+ \7 b, z3 U+ }" s 人体带电后触摸到地线,会产生放电现象,人体就会产生不同程度的电击感反应,其反应的程度称为电击感度。% ?6 D* a& F; t% w. `* |
(2)化纤或棉制工作服与工作台面、坐椅摩擦时,可在服装表面产生6000V以上的静电电压,并使人体带电,此时与器件接触时,会导致放电,容易损坏器件。
) R" o4 U' S; c& j (3)橡胶或塑料鞋底的绝缘电阻高达1013Ω,当与地面摩擦时产生静电,并使人体带电。; Y" ?% g: Z& `" B/ g6 ~4 x! d
(4)树脂、漆膜、塑料膜封装的器件放人包装中运输时,器件表面与包装材料摩擦能产生几百伏的静电电压,对敏感器件放电。# g% a7 ^' |, ?% T' `4 U; J
(5)用PP(聚丙烯)、PE(聚乙烯)、PS(聚内乙烯)、PVR(聚胺脂)、PVC和聚脂、树脂等高分子材料制作的各种包装、料盒、周转箱、PCB架等都可能因摩擦、冲击产生1-3.5KV静电电压,对敏感藉件放电。
$ o. F; r8 r# W. }% ` (6)普通工作台面,受到摩擦产生静电。
' w7 z+ O8 `" G1 }) F4 K (7)混凝土、打腊抛光地板、橡胶板等绝缘地面的绝缘电阻高,人体上的静电荷不易泄漏。
5 m, v& G- X6 N, V8 _3 @ (8)电子生产设备和工具方面:例如电烙铁、波峰焊机、再流焊炉、贴装机、调试和检测等设备内的高压变压器、交/盲流电路都会在设备卜感应出静电。如果设备静电泄放措施不好,都会引起敏感器件在制造过程中失效。烘箱内热空气循环流动与箱体摩擦、CO2低温箱冷却箱内的CO2蒸汽均会可产生大量的静电荷。( k& A0 {# e. M" a( a& n
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4.静电防护原理
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电子产品制造中,不产生静电是不可能的。产生静电不是危害所在,其危害所在于静电积聚以及由此产生的静电放电。静电防护的核心是“静心消除”。0 \" g0 T$ X Z( i
静电防护原理:
) N0 D, B# S9 x2 P (1)对可能产生静电的地方要防止静电积聚。采取措施在安全范围内。
8 @# k/ e' Y3 U (2)对已经存在的静电积聚迅速消除掉,即时释放。
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5.静电防护方法
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( r, S6 q' j& ?9 Z (1)使用防静电材料:金属是导体,因导体的漏放电流大,会损坏器件。另外由于绝缘材料容易产生摩擦起电,因此不能采用金属和绝缘材料作防静电材料。而是采用表面电阻l×105Ω·cm以下的所谓静电导体,以及表面电阻1×105-1×108Ω·cm的静电亚导体作为防静电材料。例如常用的静电防护材料是在橡胶中混入导电碳黑来实现的,将表面电阻控制在1×106Ω·cm以下。! e) s/ z- v" P' F, C+ k
(2)泄漏与接地:对可能产生或已经产生静电的部位进行接地,提 供静电释放通道。采用埋大地线的方法建立“独立”地线。使地线与大地之间的电阻<10Ω。) n- I; j& L, e# R% {
静电防护材料接地方法:将静电防护材料(如于作台面垫、地垫、防静电腕带等)通过1MΩ的电阻接到通向独立大地线的导体上。串接1MΩ电阻是为了确保对地泄放<5mA的电流,称为软接地。设备外壳和静电屏蔽罩通常是直接接地,称为硬接地。
) x8 `8 m: [* g- U6 H# Z+ [ (3)导体带静电的消除:导体上的静电可以用接地的方法使静电泄漏到大地。放电体卜的电压与释放时间可用下式表示: UT=U0L1/RC式中 UT-T时刻的电压(V) U0一起始电压(V) R-等效电阻(Ω) C-导体等效电容(pf)! _9 a2 W- W* Q; ~+ K9 T6 r* w
一般要求在1秒内将静电泄漏。即1秒内将电压降至1OOV以下的安全区。这样可以防止泄漏速度过快、泄漏电流过大对SSD造成损坏。若U0=500V,C=200pf,想在1秒内使UT达到100V,则要求R=1.28×109Ω。因此静电防护系统中通常用1MΩ的限流电阻,将泄放电流限制在5mA以下。这是为操作安全PCB设计的。如果操作人员在静电防护系统中,不小心触及到220V工业电压,也不会带来危险。: v5 s; j. q$ l0 [ O! e
(4)非导体带静电的消除:对于绝缘体上的静电,由于电荷不能在绝缘体上流动,因此不能用接地的方法消除静电。可采用以下措施:
5 B3 u0 H o7 q (a)使用离子风机—离子风机产生正、负离子,可以中和静电源的静电。可设置在空间和贴装机贴片头附近。
2 `! B0 a/ P" Q9 h, W1 m) O (b)使用静电消除剂—静电消除剂属于表面活性剂。可用静电消除剂檫洗仪器和物体表面,能迅速消除物体表面的静电。% p' _: G* ^" p" U- k. }# l: h4 {
(c)控制环境湿度—增加湿度可提高非导体材料的表面电导率,使物体表面不易积聚静电。例如北方干燥环境可采取加湿通风的措施。
4 a1 D8 K* T' q @- T# Q1 v4 \ U C (d)采用静电屏蔽—对易产生静电的设备可采用屏蔽罩(笼),并将屏蔽罩(笼)有效接地。
; Q7 `* J& L3 q) b; r (5)工艺控制法:为了在电子产品制造中尽量少的产生静电,控制静电荷积聚,对已经存在的静电积聚迅速消除掉,即时释放,应从厂房PCB设计、设备安装、操作、管理制度等方面采取有效措施.
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6.静电防护器材
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9 m( y7 i) M& u0 Y- k6 c8 \5 `& b (1)人体防静电系统包括防静电腕带、工作服、帽、手套、鞋、袜等
: L& u1 J+ a% X/ g: y9 J, W (2)防静电地面包括防静电水磨石地面、防静电橡胶地面、PVC防静电塑料地板、防静电地毯、防静电活动地板等。
3 j4 o3 x& B$ L0 g9 p2 g (3)防静电操作系列:包括防静电:I:作台垫、防静电包装袋、防静电物流小车、防静电烙铁及工具等。
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7.静电测量仪器.5 p% E* x g& f+ m2 k+ @4 ?
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(1)静电场测试仪:用于测量台面、地面等表面电阻值。平面结构场合和非平面场合要选择不同规格的测量仪。% ^/ a* M: R) F8 v) e- U
(2)腕带测试仪:测量腕带是否有效。- H' h/ l- F6 Y/ I, Z6 J; U. g
(3)人体静电测试仪:用于测量人体携带的静电量,人体双脚之间的阻抗,测量人体之间的静电差,腕带、接地插头、工作服等是否阻护有效。还可以作为入门放电,把人体静电隔在车间之外。. o8 B- e) e1 J
(4)兆欧表:用于测量所有导电型、抗静电型及静电泄放型表面的阻抗或电阻。4 P% [+ X- U- C2 n. J
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8.电子产品制造中防静电技术指标要求
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: V5 Y2 }/ I G4 {6 s2 }3 c1 a3 W* l" [ (1)防静电地极接地电阻<10Ω。
' O, }$ N' a; h, f. X (2)地面或地垫:表面电阻值105-1010Ω;摩擦电压<100V。
8 s& q4 C4 m7 c' s3 R (3)墙壁:电阻值5×104-109Ω。
+ o+ e- r, ]0 U2 D (4)工作台面或垫:表面电阻值106-109Ω;摩擦电压<100V;对地系统电阻106-108Ω。
. d0 e. j" o7 Z' ]& ` (5)工作椅面对脚轮电阻106-108Ω。9 J3 @" J+ ~. X7 H d) j
(6)工作服、帽、手套摩擦电压<300V;鞋底摩擦电压<100V。& N' y. U+ L' i( X
(7)腕带连接电缆电阻1MΩ;佩带腕带时系统电阻1-1OMΩ。脚跟带(鞋束)系统电阻0.5×105-108Ω。0 H. b1 I9 J1 a
(8)物流车台面对车轮系统电阻106-109Ω。
, c7 E5 k" A! [, n& Y8 g p (9)料盒、周转箱、PCB架等物流传递器具一表面电阻值103- 108Ω;摩擦电压<100V。, u* D6 W% `3 v- w2 \$ Y
(10)包装代、盒一摩擦电压<100V。
, Y7 c% L) j( F4 F; U: u5 q (11)人体综合电阻106-108Ω。9 E) u; O2 M) V/ A3 T* K/ S% u- x
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9 .电子产品制造中防静电措施及静电作业区(点)的一般要求0 ~# u# a* z' r
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SMT生产设备必须接地良好,贴装机应采用三相无线制接地法并独立接地。生产场所的地面、工作台面垫、坐椅等均应符合防静电要求。车间内保持恒温、恒湿的环境。应配备防静电料盒、周转箱、PCB架、物流小车、防静电包装带、防静电腕带、防静电烙铁及工具等设施。2 ~# N2 p( q' G; d
(1)根据防静电要求设置防静电区域,并有明显的防静电警示标志。按作业区所使用器件的静电敏感程度分成1、2、3级,根据不同级别制订不同的防护措施。+ `1 O$ J1 L/ ?6 \; s; B% T: m; z
1级静电敏感程度范围:0-1999V N5 O* i a- Y$ v9 G
2级静电敏感程度范围:2000-3999V 9 {4 n [- o `
3级静电敏感程度范围:4000-15999V 16000V以上是非静电敏感程产品。
# Q0 Q2 k, X( i8 p1 C) e; u0 | (2)静电安全区(点)的室温为23±3℃,相对湿度为45-70%RH。禁止在低于30%的环境内操作SSD(静电敏感元器件)。+ c! v' E. l& n7 A
(3)定期测量地面、桌面、周转箱等表面电阻值。" b! v9 }, Z7 L. ~
(4)静电安全区(点)的工作台上禁止放置非生产物品,如餐具、茶具、提包、毛织物、报纸、橡胶手套等。7 a5 ?/ f# t! V$ h6 h
(5)工作人员进入防静电区域,需放电。操作人员进行操作时,必须穿工作服和防静电鞋、袜。每次上岗操作前必须作静电防护安全性检查,合格后才能生产。$ Y( x' t9 A# G; {4 l
(6)操作时要戴防静电腕带,每天测量腕带是否有效。
5 J) E0 \6 s% w$ r1 T (7)测试SSD时应从包装盒、管、盘中取一块,测一块,放一块,不要堆在桌子上。经测试不合格器件应退库。
7 C2 G/ m3 [( x# G9 `1 m (8)加电测试时必须遵循加电和去电顺序:低电压→高电压→信号电压的顺序进行。去电顺序与此相反。同时注意电源极性不可颠倒,电源电压不得超过额定值。) }* T$ @# l) \1 p1 N
(9)检验人员应熟悉SSD的型号、品种、测试知识,了解静电保护的基本知识。
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10.静电敏感元器件(SSD)运输、存储、使用要求
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9 t% ~: ?6 ?8 d9 ^% V, I9 ]9 ] (1)SSD运输过程中不得掉落在地,不得任意脱离包装。
O( h" ^1 s5 \- Q- A (2)存放SSD的库房相对湿度:30-40%RH。
0 J3 u b- n" @7 @+ a3 d (3)SSD存放过程中保持原包装,若须更换包装时,要使用具有防 静电性能的容器。# U8 |) P/ z6 H
(4)库房里,在放置SSD器件的位置上应贴有防静电专用标签。
2 }% J" g7 C$ a7 ]2 d (5)发放SSD器件时应用目测的方法,在SSD器件的原包装内清点数量。! X. J: N: z, J8 B
(6)对EPROM进行写、擦及信息保护操作时,应将写入器/擦除器充分接地,要带防静电手镯。
# t! }$ W- H' Z7 } (7)装配、焊接、修板、调试等操作人员都必须严格按照静电防护要求进行操作。
6 ]! d! k2 T- U8 y1 u; N (8)测试、检验合格的印制电路板在封装前应用离子喷枪喷射一次,以消除可能积聚的静电荷。
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3 i7 b% e. r. K3 k' t, |. M W11.防静电工作区的管理与维护
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7 O' e. |3 i0 l# a (1)制订防静电管理制度,并有专人负责。
2 V- E" _! [! Y) e) G (2)备用防静电工作服、鞋、手镯等个人用品以备外来人员使用。# ?. @) T5 `8 O
(3)定期维护、检查防静电设施的有效性。
4 J4 m3 J* }) l" P% j (4)腕带每周(或天)检查一次。
& P0 j. W) u% V (5)桌垫、地垫的接地性、静电消除器的性能每月检查一次。' Q/ t5 z. X V' n8 ?
(6)防静电元器件架、印制板架、周转箱;运输车、桌垫、地垫的防静电性能每六个月检查次。3 c1 r. a. [- O+ ]: `
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