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EDA365电子论坛网»电子社区 › 研发供应链讨论 › 器件选型&认证 › 求助：Mos管的主流工艺？技术趋势？
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求助：Mos管的主流工艺？技术趋势？

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colin_fa
  • TA的每日心情
    奋斗
    2022-4-26 15:14

    • 签到天数: 152 天

    [LV.7]常住居民III
    跳转到指定楼层
    1#
    发表于 2019-12-27 17:32 | 只看该作者 |只看大图 回帖奖励 |倒序浏览 |阅读模式

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    求助：Mos管的主流工艺有Trench、Planar工艺结构，两种工艺的优缺点有哪些？感谢~4 d0 F. [4 c) [# o* }8 {. s1 e

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    重阳
  • TA的每日心情
    开心
    2022-4-26 15:18

    • 签到天数: 153 天

    [LV.7]常住居民III
    2#
    发表于 2019-12-27 18:18 | 只看该作者
    TRENCH工艺主要用于低压MOSFET，为了降低导通内阻，把栅极结构做成了类似U型槽8 _3 U! R1 ]- v- a
    PLANAR工艺是普通工艺，也是最常见的VDMOS结构。

    0 g/ @8 a3 z' T; G, T
    : S) ]0 X, f* m) j

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