半导体单晶抛光片清洗工艺分析

geronimo123 · 发表于 2023-1-4 10:38

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通过对 Si , CaAs , Ge 等半导体材料单晶抛光片清洗工艺技术的研究 , 分析得出了半导体材料单晶抛光片的清洗关键技术条件。首先用氧化性溶液将晶片表面氧化 , 然后用一定的方法将晶片表面的氧化物去除 , 从而实现对晶片进行清洗的目的。采用这种先氧化再剥离的方法 ,可有效去除附着在晶片表面的杂质及各种沾污物。对于不同的材料 , 氧化过程以及剥离过程可以在不同的溶液中相互独立地进行 ; 也可以组合在一起 , 使用一种混合液同时实现氧化及剥离。采用氧化、剥离的清洗原理 , 可提高半导体材料抛光片的清洗工艺技术水平 , 同时也对新材料抛光片的清洗工艺起到一定的指导作用。

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Jack_凡 · 发表于 2023-1-4 10:59

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瞪郜望源_21 · 发表于 2023-1-4 11:37

不错，美食美味有料好久，尝鲜

heennrryy · 发表于 2023-1-4 13:20

半导体材料单晶抛光片

Jack_凡 · 发表于 2023-1-5 09:27

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